一、概述：
SZT-5硅材料復(fù)合測試儀，是由二種硅材料測試儀器組合而成的。
1、二量程的電阻測量儀器，配以手持式四針測試頭或座式測試架，可用來測量片狀，柱狀，或塊狀，電阻率
在0.01~200歐姆/厘范圍內(nèi)的半導(dǎo)體材料。通過對恒流源的調(diào)整，可以對某些測量結(jié)果進(jìn)行修整，例如對普通硅材料的測試結(jié)果要乘以0.628的探險頭修正系數(shù)，對硅材料薄層擴(kuò)散和導(dǎo)電薄膜 “方塊電阻“ 的修正系數(shù)為4.53等均可通過調(diào)正恒流電流加以處理。

2、整流法硅材料P-N極性判別儀，配有三針手持式探頭，能對片狀或塊狀電阻率在1000-0.01歐姆/厘米的。硅材料進(jìn)行極性判別
本儀器工作環(huán)境條件為：
溫　　度：18℃―25℃
相對濕度：50%－70%
工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。

二、技術(shù)參數(shù)

1、測量范圍
(1)電阻率測量：
電 阻 率 0.01-200Ω-cm
方塊電阻 0.01-200Ω-口
電 阻 0.01-200.0Ω

2、數(shù)字電壓表
(1)量 程: 200mV單一量程
(2)誤 差: 讀數(shù) ±0.2%±3字
(3)輸入電阻: >10MΩ

3、恒 流 源
(1)電流輸出: 0~10mA連續(xù)可調(diào)
(2)量 程: 1mA, 10mA
(3)誤 差: ±0.2%±3字,

4、手持式四探針測試頭
(a)探 針 間 距:1mm
(b)探針機(jī)械游移率:±1.0%
(c)探 針 材 料:碳化鎢,φ0.
(d)壓力:最大 2Kg
(2)導(dǎo)電類型判別：
可對電阻率為1000-.0.01歐姆/厘米的硅材料作導(dǎo)電類型測定，同時可以聲，光報警方式表示被測材料屬于”重?fù)健薄?/p>